GAS | 気体用製品
MC-3000L シリーズは、±1.0%S.P. 保証を実現した高性能のデジタルマスフローコントローラです。
◆±1.0%S.P. 保証を実現。
◆デジタルインターフェイスは、RS-485 を標準装備。
◆リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載。
◆マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現。
◆デッドボリュームが小さなダイヤフラム構造のバルブ。
◆高速、高性能なピエゾアクチュエータを採用。
◆耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上。
◆金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作。
◆詳細はカタログをダウンロードしご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 高性能デジタル通信マスフローコントローラ MC-3000L Series |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 276.1Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社リンテック (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
この企業の関連カタログ
このカタログの内容
Page1
気体用製品
高性能デジタル通信マスフローコントローラ
■概 要
●MC-3000L シリーズは、±1.0%S.P. 保証を実現した高性能のデジタルマスフローコントローラです。
■特 長
●±1.0%S.P. 保証を実現
●デジタルインターフェイスは、RS-485 を標準装備
●リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載
●マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現
●デッドボリュームが小さなダイヤフラム構造のバルブ
●高速、高性能なピエゾアクチュエータを採用
●耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上
●金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作
型式名 MC-3102L MC-3202L MC-3252L MC-3452L MC-3462L MC-3472L MC-3582L
流量（N2換算） 5～5,000SCCM ～20SLM ～50SLM ～50SLM ～150SLM ～200SLM ～300SLM ～400SLM
流量制御範囲 2～100% F.S.
バルブ動作 ノーマリオープン、ノーマリクローズ ノーマリクローズ
精度 100% F.S. ～ 25% F.S. ±1.0% S.P. 100% F.S. ～ 35% F.S. ±1.0% S.P.
25% F.S. ～ 2% F.S. ±0.25% F.S. 35% F.S. ～ 2% F.S. ±0.35% F.S. ±1.0% F.S. ±2.0% F.S. ±3.0% F.S.
再現性 ±0.2% F.S. ±0.5% F.S. ±1.0% F.S.
応答時間 １sec 2 sec
アナログ流量設定信号 0～5VDC
アナログ流量出力信号 0～5VDC
必要差圧 ノーマリオープン
50～300kPa
(～10SLM)
100～300kPa 100～300kPa
50～300kPa (～20SLM) ( ～30SLM) 1 ノーマリクローズ 150～300kPa 50～500kPa 250～500kPa 350～500kPa 320～500kPa 350～500kPa
100～300kPa ( ～50SLM)
(～10SLM)
200～300kPa
(～20SLM)
耐圧 1MPa(G)
温度影響 Zero ±0.02% F.S. / ℃ ±0.1% F.S. / ℃
Span ±0.02% F.S. / ℃ ±0.04% F.S. / ℃ ±0.08% F.S. / ℃ ±0.1% F.S. / ℃
使用保証温度 5～50℃ 0～80% RH
リークレート 1×10-11Pa・m3 / sec He 1×10-8Pa・m3 / sec He
接ガス部材質 SUS316L, PCTFE SUS316L, SUS304, テフロン®, バイトン®
シール材 Au
所要電源 +15VDC±3% 100mA, -15VDC±3% 50mA
取付姿勢 自由
アナログコネクタ Dsub 9pin
デジタルインターフェイス モジュラジャック RJ45/RS-485
バルブ方式 ピエゾアクチュエータ
重量 1.0kg 1.4kg 2.4kg
ホームページアドレス